Publikationstyp: Beitrag in wissenschaftlicher Zeitschrift
Art der Begutachtung: Peer review (Publikation)
Titel: Combining micelle self-assembly with nanostencil lithography to create periodic/aperiodic micro-/nanopatterns on surfaces
Autor/-in: Krishnamoorthy, Sivashankar
Van den Boogaart, Marc Antonius Friedrich
Brugger, Juergen
Hibert, Cyrille
Pugin, Raphael
Hinderling, Christian
Heinzelmann, Harry
DOI: 10.1002/adma.200702478
Erschienen in: Advanced Materials
Band(Heft): 20
Heft: 18
Seiten: 3533
Seiten bis: 3538
Erscheinungsdatum: 2008
Verlag / Hrsg. Institution: Wiley
ISSN: 0935-9648
1521-4095
Sprache: Englisch
Fachgebiet (DDC): 620.11: Werkstoffe
Zusammenfassung: A novel and flexible top‐down/bottom‐up scheme to achieve (sub‐)micrometer scale patterning of nanostructures with complementary micro‐/nanoarchitectures is presented. Nanostencils (perforated free‐standing Si3N4 membranes) are employed to pattern silicon nanopillars derived from the use of self‐assembled copolymer micelles as dry etch masks.
URI: https://digitalcollection.zhaw.ch/handle/11475/13664
Volltext Version: Publizierte Version
Lizenz (gemäss Verlagsvertrag): Lizenz gemäss Verlagsvertrag
Departement: Life Sciences und Facility Management
Organisationseinheit: Institut für Chemie und Biotechnologie (ICBT)
Enthalten in den Sammlungen:Publikationen Life Sciences und Facility Management

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